По мере того, как все больше и большее энергии подается на данный электрод, достигается окончательный предел, после которого любая дополнительная энергия тратится впустую. Поэтому, по мере того, как увеличивались требования к плотности мощности, системе обработки коронным разрядом требовались дополнительные электроды. Энергоемкость керамического электрода уменьшает количество электродов вдвое, позволяя создавать меньшие по размеру и менее дорогостоящие станции (см. рисунок 22). Рисунок 22. Керамический электрод.
Последние достижения в области конструкций корпусов диэлектрических роликов и устройств энергопитания сделали возможным создание гибридных систем, что значительно повысило степень обработки трудных для обработки подложек. Керамические электроды с точно контролируемой плотностью мощности и частотой можно эксплуатировать над роликами обрабатывающего устройства с покрытием специальным керамическим материалом (см. рисунок 23). В результате получается более высокий уровень обработки трудных для обработки субстратов, таких как литые пленки, полипропилен с большим содержанием добавок, улучшающих скольжение и т. д. Рисунок 23. Система «Н»: Керамический электрод/ролики с керамическим покрытием.
В станциях с открытым роликом и системами "H" керамические электроды даны в сборке, что позволяет удалять или заменять сборку менее чем за 10 минут. Такая быстрая замена имеет решающее значение в ситуациях, когда производственные потери и затраты, возникающие из-за простоя, могут измеряться в сотнях или тысячах долларов в час.
|