История разработки

Конфигурация электрода принимала различные формы. Одной из наиболее ранних форм была просто проволока, натянутая параллельно заземленному ролику, который покрывался диэлектрикам, например, заворачивался в полиэфирную оболочку. Проволочный электрод (см. рисунок 10) позволял достигать цели, но он давал такой узкий коронный разряд, что время воздействия, т. е. то время, которое подложка действительно оставалась под воздействием коронного разряда, было чрезвычайно небольшим. Кроме того, энергетическая мощность, которую можно было применять, могла быть чрезвычайно ограниченной поперечным сечением проволоки и ее способностью рассеивать теплоту, которая вырабатывалась в ходе обработки. Озон, который всегда образуется в искровом промежутке, заполненном коронным разрядом, приходилось удалять из рабочей среды.

Рисунок 10. Проволочный электрод

Еще одной старой формой электрода был резьбовой стержень, который обеспечивал больше времени обработки, но из-за неровности электродной поверхности, появлялась тенденция формирования неровности обработки подложки в поперечном направлении. Существует тенденция более интенсивной коронной обработки на острых концах электродов (см. рисунок 11), из-за чего степень обработки выше там, где резьбовая часть расположена ближе к подложке.

 
Рисунок 11. Электрод - резьбовой стрежень

Также использовались электроды из прямых металлических пластинок, и они продолжают использоваться и сейчас. Пластинка обеспечивает равномерную обработку по всей поверхности подложки, но всякий раз требуется создание электрода нужной длины, чтобы он подходил к ширине полотна всякий раз, когда производится замена полотна. Это неудобно для оператора, и требует создания целой системы хранения для электронов различной длины (см. рисунок 12).

 
Рисунок 12. Электрод из прямой металлической пластинки