При стандартном отжиге в печи качество пленок по-прежнему является недостаточным даже в тех случаях, когда отжиг проводится на протяжении ряда дней. Процесс, называемый отжигом в горячей зоне – когда тонкая пленка чрезвычайно медленно перемещается через зону нагрева, в котором температура постепенно повышается до уровня, находящегося непосредственно над точкой, при которой цилиндры утрачивают упорядоченность – ранее использовался для создания тонких пленок из сверхупорядоченных ВСР с минимальным количеством дефектов, в которых, тем не менее, слабо контролируется ориентация. В некоторых сочетаниях полимеров температура утраты упорядоченности настолько высока, что производителям практически невозможно нагревать их в достаточной степени без начала разрушения.
Чтобы устранить временные и температурные ограничения без потери упорядоченности, происходящей в результате отжига в горячей зоне, исследователи NIST разработали систему отжига «в холодной зоне», когда полимеры подвергаются полной обработке при температуре, гораздо более низкой, чем их температуры утраты упорядоченности. Обработка при более низкой температуре, которая проводится с должным контролем, не только применима в случае ВСР, для которых отжиг в горячей зоне не подходит. Однако, как показали эксперименты NIST, она в течение считанных минут неоднократно создает высокоупорядоченную тонкую пленку. Исследователи NIST также обнаружили, что выравнивание цилиндра контролировалось условиями отжига «в холодной зоне». Производители микроэлектроники полагают, что при помощи метода NIST можно производить высокоупорядоченные элементы топологии размером менее 30 нм, благодаря тому, что он прост в применении, и качество производимого продукта поддерживается на постоянном уровне.
Исследователи из NIST говорят, что следующим этапом станет углубление понимания фундаментальных процессов, которые позволяют системе отжига в холодной зоне работать настолько хорошо, а также усовершенствование методик измерения, используемых при оценке его работы.

С анализом рынка конкретных видов пленок – оценкой спроса, географией размещения производство, анализом конкурентной среды; возможностями замещения импортных поставок, - можно познакомиться в отчете Академии Конъюнктуры Промышленных Рынков «Рынок полимерных пленок в России»

Автор:

Академия Конъюнктуры Промышленных Рынков
Тел.: (495) 918-13-12, (495) 911-58-70
E-mail: mail@akpr.ru
WWW: www.akpr.ru

Об авторе:
Академия Конъюнктуры Промышленных Рынков оказывает три вида услуг, связанных с анализом рынков, технологий и проектов в промышленных отраслях - проведение маркетинговых исследований, разработка ТЭО и бизнес-планов инвестиционных проектов.
• Маркетинговые исследования
• Технико-экономическое обоснование
• Бизнес-планирование